日本SMC小型直动式电磁阀/SMC直动式电磁阀
注1)流量条件-VBA1110:进=出=1.0MPa, VBA1111、VBA2□00、VBA4□00: 进=出=0.5MPa
注2)每只增压阀需要压力表2个
注3)气容规格及尺寸图,请参阅2.27页
耐腐蚀。
禁油。
抑制脉动的阀结构。
可用于洁净室(等100)中。
型 号
阀的结构
接管口径
使用流体
zui高使用压力MPa
设定压力MPa
环境及流体温度
接触流体材质
膜片材质
SRH3□□0 SRH4□□0 SRH3□□1 SRH4□□1
非溢流式溢流式
空气、N2
1.0
低压: 0.01~ 0.2
0~60℃(但未冻结)
Rc1/8·1/4
9/16-18UNF
Rc1/4·3/8·1/2
7/8-14UNF
规格
Rc1/8·1/4 Rc1/4·3/8·1/2
空气、N2、Ar、CO2、水
A洁净空气、N2、Ar、CO2、纯水
B
A: PTFE B: 氟素橡胶
SUS316(阀体SUS316L)
洁净空气、N2
高压: 0.05~0.7
日本SMC小型直动式电磁阀/SMC直动式电磁阀
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