SMC用工具调节的速度控制阀,SMC速度控制阀*

SMC用工具调节的速度控制阀,SMC速度控制阀*
特长 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信，多用于半导体工艺设备。
适用各种安全标准。
CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液
HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟素化液
特长 在HRZ系列高的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了省能化。
兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。
适用于更新周期短的半导体器件，可以灵活地响应不断变化的工艺条件。
符合UL和SEMI标准、CE规格。
CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液
HRW  20～90℃ 2～30kW ±0.3℃ 水冷却式 氟素化液
VX2112L015DBX36
VX2112L015GBX36
VX2112V-01-4G
VX2112V-01-4G1
VX2112V-01-5TZ
VX2112V-01-5TZ1
VX2112V-01-6G
VX2112V-01-6G1
VX2112V-01N-4DL
VX2112V-01N-4DZ
：\39526590\39529839/39529830转8005或者8002
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\39529831\39529839\39529839-8007或者8008
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公司;ebpquebec.com
；单荣兵/余娟
SMC用工具调节的速度控制阀,SMC速度控制阀*
VX2112V-02-4G
VX2112V-02-4G1
VX2112V-02-5G
VX2112V-02-5G1
VX2113-00-5D
VX2113-00-5D1
VX2113V-00-5D
VX2113V-00-5D1
VX2120-01-BG
VX2120-01-BG1
VX2120-01-1G
VX2120-01-1G1
VX2120-01-2G1
VX2120-01-3D
VX2120-01-3DZ
VX2120-01-3DZ1
VX2120-01-3D1
VX2120-01-3G
VX2120-01-3GX21
VX2120-01-3GX27
VX2120-01-3G1
VX2120-01-4D
VX2120-01-4DZ
VX2120-01-4DZ1